环氧灌封胶标准达标 ≠ 产线合格:IGBT 模块灌封的三个工艺坑
工信部发布 SJ/T 12021-2025《功率半导体模块用环氧灌封胶》,由株洲中车时代半导体等 14 家单位联合起草[1][2],2026 年 2 月底至 3 月初实施。文章拆解高填料环氧灌封的三大工艺坑:固化剂结晶堵管、填料沉降、真空脱泡困难。标准定的是合格线,产线要的是灌得进、固化好。

▲ 环氧灌封后的功率模块:外观完整的模块,内部可能仍有气泡、空洞与内应力隐患(示意图,非真实产品)
实验室报告上七个数字全绿,产线照样天天出废品——这两件事之间没有矛盾,是两个不同的问题。 SJ/T 12021-2025 把前者规范化了:标准由工业和信息化部电子信息司提出、全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203,即国内负责半导体设备与材料国家标准的专业委员会)归口[2],内容覆盖固化前、固化后、环境耐受性与有害物质限制四类技术要求,型式检验每 12 个月一次[3]。但标准管不到的是后者——它测的是材料,产线踩的是工艺。
先说清楚主角。环氧灌封胶:一种双组分按比例混合后浇注、固化后变硬的封装材料,固化后同时提供绝缘、密封与机械支撑。功率模块用它,是因为它能把芯片、陶瓷基板、铜底板这一叠 CTE 各异的层封成一体,顺带把结构强度补上。但"高填料"三个字是全部麻烦的源头:填料负责导热和绝缘,填料也带来密度差、带来黏度、带来沉降与分层。
功率模块腔体的复杂度把门槛又抬高了一档。芯片密集、键合线悬空在基板上方、气泡没有任何可以跑的通道——固化后一个气泡就是一处绝缘缺陷。而散热结构的差异会放大这件事,内部知识库的功率循环老化资料显示,Pin-Fin 模块的芯片温变梯度比平板结构更大[8],对灌封层的均温性与应力控制提出了更高要求。灌封层做得不匀,热斑和应力就都往同一个位置叠。

▲ 芯片、键合线与基板悬空关系示意:悬空的键合线让气泡无处可去,灌封路径本身就是设计变量(示意图,非真实产品)
第一个坑:固化剂结晶堵管。 环氧是双组分体系,A 组分里常带固化剂。固化剂暴露在空气里,可能与 CO₂、H₂O 反应生成结晶物,一旦在混合管路或静态混合头里长出来,整个批次就废了——而且它不是渐进的,是突然出现的。工程上的解法相当直接:全程氮气覆盖保护,把固化剂与空气隔开。需要说明的是,结晶具体归因于哪一类固化剂(如胺类)目前尚无标准定论,标准未规定固化剂类型,这一条仍属待验证假设[4]。
第二个坑:高填料沉降分层。 填料密度大、胶液静置,密度差自然会把填料往下拽,上层变成近乎透明的贫胶层、下层变成硬邦邦的富填料层。表现是隐蔽的:胶还没灌,指标全部合格;灌进去之后,模块底部导热好、顶部导热差,热全压在芯片上。解法是低速搅拌维持均匀分散,管路加热控温降低黏度与沉降速度。

▲ 双组分计量、真空脱泡与搅拌一体设备:沉降、脱泡与计量在同一套管路里连续发生(示意图,非真实产品)
第三个坑:真空脱泡困难。 中等黏度的高填料胶液在复杂内腔里很难把气泡排干净:胶液太稀会挂壁,太稠则气泡浮不动、抽真空也带不出来。工程窗口是明确的——真空脱泡 -0.09MPa、持续 5–10 分钟,同时把工件预热到 40–60°C,固化走阶梯升温而不是一次性高温[4]。预热的作用是降低黏度、提高流动性,让气泡有路可走。
三个坑指向同一个结论:把四个关键参数卡住,比换一桶更贵的胶有用。工艺窗口不宽,但没有商量的余地。

▲ 环氧灌封工艺的四个必须卡住的数:预热温度、真空脱泡时长、固化收缩率与单层厚度(数据来源:材料选型常识库 4.5 灌封胶条目)
还有一条不是工艺问题,是材料属性。 常识库把厚层环氧(>30mm)明确列为严禁场景——固化放热大,可能烧芯,也可能开裂。这条与上面三个坑不同类:前三个是操作问题,可以靠设备与流程解决;这一条是环氧体系的固有属性,只能绕开,不能克服。做法是分次灌注、控制单次灌胶量、阶梯升温固化。日本 Pelnox 的产品页把话说得更直接:厂商警示不要一次固化过多,否则可能冒烟甚至起火[5]——这句话出现在一份普通柔性环氧的产品说明里,值得所有做模块封装的人读一遍自己的材料说明书。
固化收缩率是第四个常被忽略的数。标准把它列入附录 A 的真密度计法测试范围,它决定的是灌封层对芯片和键合线施加的内应力大小。收缩率区间在 0.5%–3% 之间,看似不大,但灌封层是硬质、与 CTE 差异很大的芯片和陶瓷基板硬约束在一起,应力会集中到几何最薄弱的部位。

▲ 灌封层边缘轻微翘起与自下而上的细密应力裂纹:收缩应力最常见的释放位置在边缘与根部(示意图,非真实产品)
产线侧还有一件容易被低估的事:检验能力要跟得上。标准要求的型式检验涉及真密度计、分析天平等设备[3],中小规模厂商未必具备;与既有硅凝胶产线切换时,设备清洗、管路更换、工艺参数重新调试都要算进成本。采购环节真正该问供应商的,是系统有没有氮气保护、螺旋搅拌与加热控温——这三样对应三个坑,缺一样就有一类废品等着。
SiC 普及又加了一层变量。有技术资料指出,SiC 器件的普及正把 IGBT/SiC 模块的结温推向 200°C 甚至更高[4];而材料选型常识库给出的环氧工作温度上限仍是 150°C。这不等于"现有配方不够用"——准确的说法是现有环氧配方的耐温余量需要重新评估。 国产厂商在耐温方向已有标称更高温域的产品,例如上海多迪 TD6112-20 厂商标注耐温 -40~230°C(厂商页未明示功率模块应用,此处仅作耐温参数参照);第三方产品目录中回天 HT-6112 的导热系数 ≈0.80W/(m·K)、长期使用温域 -55°C~155°C、短时峰值 170°C(来源为第三方产品目录,建议以回天新材官方资料为准)。高温方向能不能吃下 SiC 模块,要看具体项目的温升与结温分布逐案评估。
审慎地看,SJ/T 12021-2025 解决的是"选什么",而且解决得很好——七项固化后关键指标、四类技术要求、12 个月一次的型式检验,把过去靠经验和进口方案对标的模糊地带划清了。但它没有也不可能规定"怎么灌",而产线出问题的地方恰恰在后半句。 短期内更现实的路径不是等标准给出工艺答案,而是把固化剂结晶、填料沉降、脱泡三道过程检查点写进作业文件,把厚层固化放热单列为安全管控项,再按项目评估真空灌胶设备是否适配高填料环氧体系。SiC 结温继续上行之后,耐温余量的重新评估会变成一道必答题。
已有量产案例:
Pelnox MG-152 / HY-336:日本 Pelnox 双组分室温固化柔性环氧,厂商页面直接警示组分可能分离、填料可能沉降,并提示不要一次固化过多 https://www.pelnox.co.jp/en/product_detail/mg-152_hy-336/
上海多迪 TD6112-20:双组份环氧灌封胶,硬度 85-90D、导热系数 0.8W/(m·K),厂商标注耐温 -40~230°C(厂商页未明示功率模块应用,此处仅作耐温参数参照) https://www.sh-dodi.com/index.php?a=detail&c=product&id=13
回天 HT-6112:双组份填料型低应力导热环氧灌封体系,导热系数 ≈0.80W/(m·K),长期使用温域 -55°C~155°C、短时峰值 170°C(来源为第三方产品目录,建议以回天新材官方资料为准) https://m.11467.com/product/d55135154.htm
常见问题(FAQ):
Q:环氧灌封的结晶问题能彻底根除吗?
A:不能靠配方根除。工程上的防线是全程氮气覆盖,把固化剂与空气隔离;同时应向供应商确认组分的储存与有效期管理要求。具体归因于哪一类固化剂目前无标准定论。
Q:填料沉降到底会造成什么后果?
A:模块底部富填料、顶部贫胶,底部导热好而顶部导热差,热量集中压在芯片上。低速搅拌加管路加热控温是维持均匀分散的直接手段。
Q:SiC 模块结温冲到 200°C,现有环氧配方够用吗?
A:不能一概而论。材料选型常识库给出的环氧工作温度上限是 150°C,现有配方耐温余量需要按项目重新评估,但"不够用"这个结论本身也需要数据支撑——看具体温升与结温分布。
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参考资料:
[1] 触发事件原文(微信公众号文章,SJ/T 12021-2025 发布):https://mp.weixin.qq.com/s?__biz=MzU2ODE3MTQ3MQ==&mid=2247485492&idx=1&sn=5bb446f633e3cbe9eb22eb131ecd5a9f
[2] 分析测试百科网《SJ/T 12021-2025 功率半导体模块用环氧灌封胶》标准发布历史(起草单位与归口信息):https://www.antpedia.com/standard/1971959783-9.html
[3] 分析测试百科网《SJ/T 12021-2025 功率半导体模块用环氧灌封胶》技术指标详解(四类技术要求与检验规则):https://www.antpedia.com/standard/1971959783-10.html
[4] 博客园《高填料环氧灌封胶在 IGBT 功率模块封装中的应用工艺研究》:https://www.cnblogs.com/Dps740317/articles/19856137
[5] Pelnox 官网 MG-152 / HY-336 产品页:https://www.pelnox.co.jp/en/product_detail/mg-152_hy-336/
[6] 上海多迪官网 TD6112 系列双组份环氧灌封胶产品页:https://www.sh-dodi.com/index.php?a=detail&c=product&id=13
[7] 第三方产品目录《回天 HT-6112 低应力导热双组份环氧电子灌封胶》:https://m.11467.com/product/d55135154.htm
[8] 内部知识库《散热底板对 IGBT 模块功率循环老化寿命的影响》(原始链接待补充)