从"缓冲CTE失配"到"综合力学性能再平衡":玻璃基板给Underfill出的新考题

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从"缓冲CTE失配"到"综合力学性能再平衡":玻璃基板给Underfill出的新考题

▲ 玻璃基板封装结构示意图,展示Glass Core层与ABF介质层的层叠关系(示意图,非真实产品)

下一代芯片封装正在换"底座"。英特尔首款Glass Core方案累计投入超10亿美元,在新墨西哥州建设量产基地;台积电CoPoS试产线2026年2月开始接收设备,6月全面建成;三星电机与世宗事业场同步推进玻璃基板试验线,TGV深宽比做到10:1。[1][2][3]

三条路线指向同一个变量:封装基板从有机材料转向玻璃。玻璃的热膨胀系数(CTE)可调至3–9 ppm/°C,接近硅芯片的~4 ppm/°C,而传统有机载板(ABF/BT)的CTE高达17–18 ppm/°C。[4][5] 这意味着,困扰行业多年的CTE失配问题,在玻璃基板时代将大幅缓解。

但基板变了,围着芯片转的封装材料也得重新算账——其中,芯片级底部填充胶(Underfill)的角色可能要重新评估。

有机基板时代,Underfill的"桥梁"角色

Flip Chip封装中,芯片通过焊球倒装到基板上,芯片与基板之间形成10–50μm的间隙。温度变化时,硅芯片(CTE ~4 ppm/°C)和有机基板(CTE 17–18 ppm/°C)以不同速率膨胀收缩,焊球承受巨大剪切应力,极易疲劳断裂。

芯片级底部填充胶:一种低粘度环氧树脂基胶粘剂,通过毛细作用填充芯片与基板之间的微细间隙,将芯片、焊球和基板耦合成统一的力学系统,从而分散热应力、延长焊球寿命。

在这个体系里,Underfill的CTE(20–40 ppm/°C)介于硅和有机基板之间,起"缓冲桥梁"作用。同时,它的模量(5–15 GPa)和Tg(100–180°C)也需要精细平衡——模量太低则应力分散不足,模量太高则应力会转移到脆弱的low-k介质层;Tg太低则高温下软化失效,Tg太高则模量往往同步升高,翘曲风险加大。[6]

NAMICS在一篇技术文章中指出:"调整模量和Tg并不能消除应力,只是重新分配它。而翘曲,就是这种重新分配的物理表现。"[7]

从"缓冲CTE失配"到"综合力学性能再平衡":玻璃基板给Underfill出的新考题

▲ CTE对比示意图:硅芯片(\~4 ppm/°C)、有机基板(17-18 ppm/°C)、玻璃基板(3-9 ppm/°C)(示意图,非真实产品)

玻璃基板来了,Underfill的"考题"换了

玻璃基板CTE接近硅后,芯片-基板之间的CTE失配大幅缩小,Underfill的CTE缓冲功能相对减弱。但这不等于Underfill变得不重要——应力分配的格局变了,考题也换了。

第一,玻璃模量极高(~70 GPa),应力分布模式完全不同。 有机基板模量低(~20 GPa),变形主要由基板"吸收";玻璃基板几乎不变形,应力会更多传递到芯片侧和界面层。Underfill需要重新设计模量和Tg的平衡点,以适应新的应力分布。

第二,低模量Underfill可能更适合玻璃基板。 玻璃基板几乎不翘曲,Underfill不需要像有机基板时代那样承担大量"拉平"变形的任务。较低模量的Underfill可以减少对芯片low-k介质层的应力集中,但前提是对玻璃的附着力足够强——目前这一数据尚待行业积累。

第三,固化温度窗口大幅放宽。 有机基板耐温有限(通常<250°C),限制了Underfill的固化温度选择;玻璃基板耐温>500°C,理论上可以采用更高Tg的配方而不受基板限制,为优化高温可靠性提供了新空间。[5]

第四,玻璃表面平整度达到纳米级,理论上有利于Underfill的毛细填充。 但玻璃表面化学特性(高表面能、Si-OH基团丰富)与有机基板不同,Underfill的流动行为和润湿角可能发生变化,需要重新验证。

现有产品线怎么选?

当前市面上已有的Flip Chip Underfill产品,虽未专门针对玻璃基板优化,但部分参数方向已具备适配潜力:

  • 汉高LOCTITE ECCOBOND UF 9000AG:填料含量72%,Tg 135°C/160°C,CTE 19ppm,粘度11,930 mPa·s,明确针对Flip Chip BGA和Cu pillar封装,低翘曲、260°C回流稳定。[8]

  • NAMICS U8410-73C:粘度50Pa·s,Tg 88°C,模量11.5GPa,CTE 31ppm,用于low-K、Cu-pillar和Pb-free bumps的Flip Chip Underfill。[9]

  • 汉思新材料HS711:支持台积电CoWoS等2.5D先进封装,在某国际大厂40mm×40mm大尺寸芯片封装中实现零空洞填充,通过3000次温度循环测试。[10]

需要注意的是,上述产品的性能数据均以有机基板为测试平台,玻璃基板上的附着力、长期可靠性数据尚待补充。行业共识是:不要直接沿用有机基板的选型经验。

从"缓冲CTE失配"到"综合力学性能再平衡":玻璃基板给Underfill出的新考题

▲ Flip Chip封装中的Underfill点胶工艺场景(示意图)

趋势判断与行动建议

玻璃基板产业化时间表日趋清晰——SEMI判断2028年前后少量高性能应用开始导入,2030年渗透率有望达到三成。[3] 在这个过渡期,Underfill不会消失,但配方验证的逻辑需要更新:

  • CTE指标权重下降,模量-Tg-附着力的综合平衡权重上升

  • 低模量方向可能是趋势,但需配套验证玻璃附着力

  • 固化温度窗口放宽,为更高Tg配方提供了可行性

  • 目前没有任何厂商公开宣布"玻璃基板专用Underfill",市场仍处于早期验证阶段

对于材料工程师而言,最务实的做法是:关注英特尔、台积电的玻璃基板封装公开测试数据,跟踪NAMICS、汉高、汉思等厂商的适配产品线进展,同时在自己的验证体系中预留玻璃基板平台的测试条件。

玻璃基板不是Underfill的终结者,而是给Underfill出了一套新考题。

已有量产案例:

常见问题(FAQ):

  • Q:玻璃基板时代还需要Underfill吗?

A:需要。Flip Chip封装仍有die-to-substrate间隙,Underfill仍是焊球保护的必需材料。只是CTE缓冲功能减弱,综合力学性能平衡成为新焦点。

  • Q:现有有机基板用的Underfill能直接用于玻璃基板吗?

A:不建议直接沿用。玻璃表面化学特性不同,附着力数据尚待验证;同时玻璃高模量改变了应力分布,模量-Tg平衡可能需要调整。

  • Q:什么场景不需要芯片级Underfill?

A:WLCSP(晶圆级封装)无die-to-substrate间隙,Wire Bond封装无Flip Chip凸点,这两种场景不需要芯片级Underfill。

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参考资料:

[1] 经济观察网,《火爆的玻璃基板:离真正落地还有多远?》,https://www.eeo.com.cn/2026/0616/916999.shtml

[2] 新浪财经,《先进封装向上,玻璃基板的兑现顺序见真章》,https://cj.sina.com.cn/articles/view/1850649324/6e4eaaec02002jlhe

[3] 36氪,《玻璃封装,真的要来了》,https://m.36kr.com/p/3908938912044166

[4] NAMICS Corporation, Understanding Stress in Underfills, https://namics-corp.com/understanding-stress-in-underfills-balancing-warpage-cte-tg-and-modulus-in-advanced-semiconductor-packaging/

[5] 台积电法人说明会/股东会公开数据(封装面积规划)

[6] 常识库条目6.1:芯片级底部填充胶

[7] NAMICS Corporation, Understanding Stress in Underfills

[8] Henkel Adhesives, LOCTITE ECCOBOND UF 9000AG产品页

[9] NAMICS, Underfill for Flip Chip产品页

[10] 汉思新材料,底部填充胶在先进封装中的可靠性提升研究